国林科技：臭氧水用于不同光刻胶的处理需要不同的浓度通常要满足85ppm以上的臭氧水浓度目前国林半导体发生器的能轻松实现100ppm以上最高到150因此能满足使用

来源：乐鱼官网进入    发布时间：2025-08-21 03:43:26

  同花顺300033）金融研究中心08月18日讯，有投资者向国林科技300786）提问， 公司产品能进行euv光刻胶的清洗吗？

  公司回答表示，尊敬的投资者，您好。光刻胶当下主要是SPM工艺，该工艺能够完全满足当下制程的要求，但是因为环保与经济型的考虑，一直以来国内外在开始研究用臭氧清洗替代，但目前处于工艺交替的初期，并没有完全成熟切换，根据工艺试验，臭氧水用于不同光刻胶的处理需要不同的浓度，通常要满足85ppm以上的臭氧水浓度，目前国林半导体臭氧水发生器的浓度能轻松实现100ppm以上，最高到150ppm，因此能满足使用。跟着时间的推移以及工艺升级的需求，未来会是一种必然的趋势。感谢您的关注。